H2 und He Verunreinigungen in Neon

Hintergrund

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Edelgase wie Xenon (Xe), Krypton (Kr) und Neon (Ne) kommen nur in sehr geringen Mengen in der Atmosphäre vor. Die Gewinnung dieser Edelgase mittels fraktionierter Destillation verflüssigter Luft rechnet sich daher nur bei sehr großen Luftzerlegungsanlagen (ASU). Der Anteil von Neon in der Luft beträgt lediglich 0,00161 Vol%.

Neon wird einerseits in der Leuchtenindustrie und andererseits in der Halbleiterindustrie benötigt. Für letztere Anwendung wird hochreines Neon als Buffergas für Laser in der Halbleiter-Lithografie mit einer Auflösung von 7 nm benötigt.

Lösung

Mit der HSense können vorhandene Wasserstof- und Heliumverunreinigungen in einem Neon Druckgasbehälter (Flasche oder Lagertank) online ermittelt werden.

Dank der niedrigen Nachweisgrenzen (< 1ppm H2 und <4 ppm He) kann Neon mit einer Reinheit von  99.999 Vol% geprüft werden.

Vorteil

Einerseits können mit einer HSense H2 und He Verunreinigungen in Neon schnell gemessen werden und andererseits ist die Detektion aufgrund des verwendeten Sektorfeld-Massenspektrometers sehr zuverlässig. Dabei können Spuren von Wasserstoff unter 1 ppm und von Helium unter 4 ppm nachgewiesen werden. Das Messergebnis liegt innerhalb von wenigen Minuten vor.

Die Kalibrierung und Messung erfolgt - wenn gewünscht - vollautomatisch. Eine Erstellung von Analysenzertifikaten (CoAs) basierend auf selbst definierbaren Vorlagen ist einfach möglich.

Highlights

  • Empfindlicher Nachweis von Verunreinigungsspuren von H2 und He
  • Schnelle & verlässliche Messtechnik
  • Zeitsparend & kostengünstig

Referenzkunden (Auszug)

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Geeignete Instrumente

HSense
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